[发明专利]一种用于镀膜机的银靶喷溅装置有效
| 申请号： | 202110688669.4 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113445011B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 解华林 | 申请（专利权）人： | 湖南国创同芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 长沙智德知识产权代理事务所(普通合伙) 43207 | 代理人： | 彭少波 |
| 地址： | 414000 湖南省岳阳市城*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种用于镀膜机的银靶喷溅装置，属于晶片镀膜领域，包括设备箱体，所述设备箱体内设置工作空间，所述工作空间内设置镀膜机构和转移机构；所述转移机构包括转动设置在所述工作空间内的转动部，所述转动部上固定设置若干个晶片夹具，所述晶片夹具上是待镀膜的晶片；通过设置转移机构，使晶片在进行镀膜时能够进行位置的切换，实现同时对更多的晶片进行镀膜加工，通过设置补正件，在进行镀膜的时候，能够将中间部分的银钯挡住，从而分散向晶片夹具的两端，使晶片夹具上的晶片镀膜时更加的均匀，并且通过在分隔部上设置滑道和刻度、卡座，使在调节补正件的上下高度的时候更加方便，也更加方便掌控调节的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 镀膜 喷溅 装置 | ||
【主权项】：
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