[发明专利]不含六价铬的蚀刻锰回收系统在审
| 申请号： | 202110688903.3 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN113481490A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 马克·鲍曼;丹尼尔·莱西;格里·沃格尔波尔 | 申请（专利权）人： | SRG全球有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C18/24 | 分类号： | C23C18/24;B01D1/22;B01D1/26;B01D3/08;B01D3/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 程纾孟 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了用于回收锰蚀刻剂溶液的方法，其中收集并蒸发用于在蚀刻非导电基板之后冲洗或中和基板的处理溶液，以提供浓缩的处理溶液，该溶液被进料回到锰蚀刻剂溶液或酸冲洗液中。 | ||
| 搜索关键词： | 不含六价铬 蚀刻 回收 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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