[发明专利]PECVD双舟系统及其碎片检测方法

摘要

本申请公开了一种PECVD双舟系统及其碎片检测方法。PECVD双舟系统包括反应腔、第一石墨舟和第二石墨舟，反应腔两端分别设有进气口和出气口，第一石墨舟和第二石墨舟设于反应腔内且沿进气口至出气口的方向排列；碎片检测方法包括：对反应腔执行抽真空处理；使气体注入反应腔内，并使反应腔内的压力保持预定压力；在第一石墨舟上施加预定电压；获得第二石墨舟上的电信号，并判断电信号是否大于第一预定值；若是，则确定第一石墨舟和第二石墨舟之间存在碎片。本申请提供的PECVD双舟系统及其碎片检测方法，能够有效检测第一石墨舟和第二石墨舟之间是否存在碎片，从而防止石墨舟内的硅片及舟片产生白色粉尘。