[发明专利]真空镀膜机在审
| 申请号： | 202110693607.2 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113493901A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 郑新源;戴铭志;牛晶华;程爽;张莉;袁青松;刘园园 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 201201 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种真空镀膜机，属于显示屏电子元件镀膜技术领域，该真空镀膜机包括腔体；支撑柱，设置在腔体内；载盘，包括连接部件和载板，载板通过连接部件与支撑柱连接，以使载板可沿支撑柱的轴向转动，载板呈环状并具有第一镂空部，载板沿其自身周向分布有多个基板承载区；晶振系统，包括至少一个第一晶振，第一晶振位于第一镂空部并靠近基板承载区设置。本申请所提供的真空镀膜机中第一晶振能够更靠近基板承载区，由于基板放置于基板承载区，因此第一晶振能够更靠近基板，第一晶振检测到的蒸镀速率与镀膜厚度与基板实际的蒸镀速率与镀膜厚度更接近，从而第一晶振能够更准确检测基板的蒸镀速率与镀膜厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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