[发明专利]一种供气系统和供气方法有效
| 申请号： | 202110696784.6 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113464844B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 张爽;郑琨;朱熹;熊佳瑜;陈浩 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 李路遥;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种供气系统和供气方法，属于半导体技术领域，供气系统包括依次连接的气源总成、第一气路、质量流量控制器、第二气路以及目标设备。当气源总成处于工作状态，气源总成与质量流量控制器之间通过第一气路保持连通，质量流量控制器与目标设备之间通过第二气路保持连通，第一气路和第二气路之间通过质量流量控制器选择性地连通。在气源总成处于工作状态下，由于气源总成与质量流量控制器通过第一气路连通，质量流量控制器与目标设备通过第二气路连通，通过质量流量控制器的开关状态使得气源总成与目标设备之间连通或截止，避免了气动开关阀的打开或关闭操作对气流的扰动，缓解甚至消除了峰值的出现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供气 系统 方法 | ||
【主权项】：
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