[发明专利]一种离面检测陀螺仪在审
申请号: | 202110697584.2 | 申请日: | 2021-06-23 |
公开(公告)号: | CN113375653A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 丁希聪;凌方舟;蒋乐跃;金羊华 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(天津)有限公司 |
主分类号: | G01C19/5656 | 分类号: | G01C19/5656 |
代理公司: | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人: | 庞聪雅 |
地址: | 300450 天津市自贸试验区(*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供一种离面检测陀螺仪,其包括:左框架结构,其位于中心点A左侧,其内定义有第一空间,其能够沿X轴进行谐振运动;右框架结构,其位于中心点A右侧,其内定义有第二空间,其能够沿X轴进行与左框架结构反向的谐振运动;左移动质量块,其位于左框架结构的第一空间,其通过第一倾斜挠性梁与左框架结构相连;左敏感质量块,其位于左框架结构的第一空间,其通过第一敏感挠性梁与左移动质量块相连;右移动质量块,其位于右框架结构的第二空间,其通过倾斜挠性梁与右框架结构相连;右敏感质量块,其位于右框架结构的第二空间,其通过第二敏感挠性梁与右移动质量块相连。与现有技术相比,本发明设计合理紧凑,可靠性好,检测精度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 陀螺仪 | ||
【主权项】:
暂无信息
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