[发明专利]基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法及透明天线有效
| 申请号： | 202110702327.3 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113437504B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 胡承刚;程晋广;史浩飞;张恒;邵丽;周萌;王刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | H01Q1/38 | 分类号： | H01Q1/38;H05K3/12 |
| 代理公司： | 北京元本知识产权代理事务所(普通合伙) 11308 | 代理人： | 黎昌莉 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于菲林光刻工艺的透明天线制备方法及透明天线，该方法包括S1.低可视透明天线结构的设计；S2.将低可视透明天线结构图形出到菲林片上制作菲林掩膜版；S3.对透明导电膜和感光干膜进行预定尺寸的裁切以及前处理；S4.透明导电膜表面贴上感光干膜，将贴好感光干膜的导电薄膜曝光；S5.显影露出透明天线的结构图案；S6.通过刻蚀液刻蚀出透明天线的形状；S7.去除透明导电膜表面的感光干膜并清洗烘干，得到所需透明导电膜；S8.将得到的透明导电膜贴在透明板材上；S9.对透明板材进行裁切，得到所需透明天线，S10.将透明天线接上射频接头或射频线缆。本发明具有较高的加工精度，可拓展至大面积制备，制作出的天线外观不易被察觉，具备低可视特征。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光刻 工艺 透明 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
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