[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202110704369.0 | 申请日： | 2021-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113388814B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 李民国;毕德锋;罗书成;李成胜 | 申请（专利权）人： | 武汉天马微电子有限公司;武汉天马微电子有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 张育英 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，提高了蒸镀形成的薄膜质量。蒸镀坩埚包括：坩埚主体，包括用于形成容纳腔的坩埚底壁和坩埚侧壁；遮挡组件，包括至少两个挡板，至少两个挡板可拆卸地置于容纳腔内，挡板包括阻挡片，阻挡片具有通孔，在垂直于坩埚底壁所在平面的方向上，至少两个挡板的阻挡片之间具有间隔，且至少两个挡板中的至少部分通孔互不交叠；坩埚上盖，盖合于坩埚主体上，坩埚上盖具有坩埚口。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
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