[发明专利]用于芯片检测的参考模板的生成方法及相关设备在审
| 申请号： | 202110711170.0 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN113514475A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 林宜龙;刘飞;王能翔;林涛;官声文 | 申请（专利权）人： | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/93 | 分类号： | G01N21/93;G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳市特讯知识产权代理事务所(普通合伙) 44653 | 代理人： | 孟智广 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于芯片检测的参考模板的生成方法及相关设备，所述方法包括获取芯片数据；根据所述芯片数据，生成所述芯片数据对应的映射模板；将所述映射模板与预设的良品图像进行匹配，得到匹配结果；根据所述匹配结果，对所述映射模板进行调整，得到参考模板。本发明先通过自动布线生成一个映射模板，再通过与良品图像的匹配，调整映射模板上的布线，从而降低了人工连线的繁琐和耗时，极大地提升了映射模板的生成效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 芯片 检测 参考 模板 生成 方法 相关 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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