[发明专利]一种镜片双舱真空镀膜工艺有效
| 申请号： | 202110715201.X | 申请日： | 2021-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN113416934B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 李时代 | 申请（专利权）人： | 丹阳市鼎新机械设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 苏州创策知识产权代理有限公司 32322 | 代理人： | 毛辰杰 |
| 地址： | 212300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镜片双舱真空镀膜工艺，当镜片双舱真空镀膜机的主舱与辅舱真空环境一致且阀门开启连通时，将辅舱内的待镀膜镜片向主舱转运、或将主舱内的已镀膜镜片向辅舱转运；当主舱与辅舱之间的阀门关闭时，在主舱内对镜片真空镀膜、在辅舱内放真空、放入待镀膜镜片或取出已镀膜镜片、并在放入或取出操作后抽真空至辅舱与主舱真空环境一致；重复转运、取放操作进行连续镜片真空镀膜，通过待镀膜与已镀膜镜片在镜片双舱真空镀膜机可启闭的主舱与辅舱之间转换、使主舱始终处于真空环境进行连续镀膜，减小生产周期，真空下插板阀门、主舱平台、辅舱平台、转运机构、旋转抓手驱动结构可靠、显著提高镜片真空自动化镀膜效率、稳定性和镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镜片 真空镀膜 工艺 | ||
【主权项】：
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