[发明专利]一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置在审
| 申请号： | 202110718670.7 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113376977A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 耿克涛;刘金 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/16 |
| 代理公司： | 宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及HMDS处理设备技术领域，具体是涉及一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，包括：HMDS罐；密封保护罩；氮气上料机构；还包括：机架；排风机构，安装在机架上，排风机构的抽气端设置在密封保护罩内部；吸收机构，设置在排风机构上；自动回收机构，设置在机架上，自动回收机构的抽气端与密封保护罩内侧顶端密封连接；控制器，设置在密封保护罩外侧壁上；泄露检测传感器，设置在密封保护罩内侧，泄露检测传感器与控制器电连接；密封保护罩外侧壁上安装有警报器，警报器与泄露检测传感器和控制器均电连接，本发明所示设备可以完全杜绝因为HMDS泄露造成的安全事故，若发生泄露则发出报警信号，切断原料供应，避免持续泄露，对泄露的HMDS进行收集。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 显影 hmds 防漏 保护装置 | ||
【主权项】：
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