[发明专利]三维存储器有效
| 申请号： | 202110720629.3 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113437060B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 姚兰;薛磊;华子群;胡思平;尹朋岸;严孟 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L25/18 | 分类号： | H01L25/18;H01L23/528;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京英思普睿知识产权代理有限公司 16018 | 代理人： | 刘莹;聂国斌 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的一方面提供了一种三维存储器，三维存储器包括键合至彼此的外围晶圆和阵列晶圆。外围晶圆包括用于阵列晶圆的外围电路。阵列晶圆包括：待测试结构，包括第一测试端和第二测试端；第一测试互连结构和第二测试互连结构，分别连接至第一测试端和第二测试端；第一管脚连接结构和第二管脚连接结构，分别经由第一测试互连结构和第二测试互连结构连接至待测试结构的第一测试端和第二测试端。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 存储器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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