[发明专利]一种用于多晶硅提纯的电磁加热炉有效
申请号: | 202110728901.2 | 申请日: | 2021-06-29 |
公开(公告)号: | CN113357913B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 曹明贵 | 申请(专利权)人: | 吉利硅谷(谷城)科技有限公司 |
主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;F27D11/06;C01B33/037 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人: | 吴甘棠 |
地址: | 441700 湖北省襄阳*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及硅锭制造技术领域,且公开了一种用于多晶硅提纯的电磁加热炉,通过复位塞活动套接在复位管的内部,使得当多晶硅放置在复位型载料板和固定式载料板的顶部,此时调节三角槽的外形呈三角且顶部的宽度大于底部的宽度,并且调节三角槽与固定式载料板和复位型载料板相对应,使得复位型载料板和固定式载料板从呈交错布置的方式变化为对应布置的方式,此时复位型载料板和固定式载料板所形成的网格距离较大,使得多晶硅熔化后的液体能够通过复位型载料板和固定式载料板并沿着斜面储液槽内壁的斜面进入到储液装置的内部,避免液态多晶硅向下流动时受到的阻力过高使得在高温下与石英发生反应导致变质的问题,提高了该装置熔化过程中的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 提纯 电磁 加热炉 | ||
【主权项】:
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