[发明专利]一种用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构在审
| 申请号： | 202110730269.5 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113663995A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;霍召军;周志勇 | 申请（专利权）人： | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/08 | 分类号： | B08B9/08;B08B9/28;B08B9/30;B08B13/00;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆盒的防变形拆分机构，包括夹持架、夹持臂、夹持气缸、吸附碗、真空发生器，夹持架安装在支撑架下端，夹持臂安装在夹持架下端，夹持气缸固定部安装在夹持架顶部中间位置，夹持气缸用于驱动夹持臂伸展或收缩以使两个吸附碗从相对的状态到朝下的状态之间变换，吸附碗安装在夹持臂下端，真空发生器用于使吸附碗内产生负压。本申请的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，吸附碗在真空发生器作用下分别吸附住晶圆盒的本体和盖体，由夹持臂在夹持气缸驱动下，使晶圆盒的本体和盖体在合在一起的状态到达相互分离的状态，清洗完毕后，再可由夹持臂使晶圆盒的本体和盖体合在一起，实现了自动化分合晶圆盒，方便对晶圆盒的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 晶圆盒 变形 夹持 机构 | ||
【主权项】：
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