[发明专利]硅片的移载方法有效
| 申请号： | 202110732152.0 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113460689B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 许明现;谷士斌;蔡涔;胡林;马胜涛;杨星星;卢正哲 | 申请（专利权）人： | 东方日升（常州）新能源有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G47/74;H01L21/683 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 戴贤群 |
| 地址： | 213200 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片的移载方法，包括以下步骤：第一移载机构将硅片从第一载体取出并暂存在固定载台上，固定载台的上表面设有固定气孔，硅片悬浮在固定载台上方，第三移载机构将固定载台上的硅片移载到第二载体。该硅片的移载方法，将硅片从第一载体取出后暂存在固定载台上，而固定载台采用气浮的方式承载硅片，可避免硅片接触固定载台而造成污染，如此，可保持硅片的洁净。并且，固定载台是固定不动的，因此，硅片能够稳定地暂放在固定载台上方，也就是说，硅片从第一载体转移到第二载体时利用固定载台作为中转站，而该中转站能够稳定承载硅片，从而可以保持硅片移载过程的稳定，有利于提高移载效率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 方法 | ||
【主权项】：
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