[发明专利]靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材的烧结方法在审

专利信息
申请号: 202110742009.X 申请日: 2021-06-30
公开(公告)号: CN113375463A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 周昭宇;周志宏;肖世洪;雷雨;汪政军 申请(专利权)人: 广州市尤特新材料有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;C04B35/64
代理公司: 广州永华专利代理有限公司 44478 代理人: 劳觅
地址: 510880 广东省广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材的烧结方法,在承烧板上用辅助滑动粉堆出顶部具有斜坡的粉堆,再把旋转靶材生坯摆放到粉堆的斜坡上。烧结时,靶材生坯收缩会带动氧化铝粉堆相对承烧板沿径向向内移动,从而使旋转靶材生坯和承烧板之间的水平静摩擦力转变为滑动摩擦力,辅助滑动粉形成粉堆后的滑动效果要优于现有技术平铺一层的滑动效果,能更好地降低靶材与承烧板之间的摩擦阻力,减小靶材生坯收缩时产生的摩擦阻力,防止由摩擦阻力导致的靶材不规则变形和开裂。
搜索关键词: 生坯 摆放 用布粉器 定位 旋转 烧结 方法
【主权项】:
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