[发明专利]平面靶材压制装置、方法及计算机可读存储介质在审
| 申请号： | 202110742296.4 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113352670A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | B30B9/00 | 分类号： | B30B9/00;B30B15/00;B30B15/06;C23C14/35;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州永华专利代理有限公司 44478 | 代理人： | 唐立辉 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种平面靶材压制装置、方法及计算机可读存储介质。提供一种平面靶材压制装置，包括用于放置平面靶材的板坯的承托板、加压装置和用于带动加压装置靠近或远离承托板的移位装置，包括抽气装置和与所述抽气装置连接的导气板，所述导气板具有用于接触平面靶材板面的接触面，该抽气装置抽气则所述导气板接触面处的气体经导气板进入抽气装置，在对平面靶材进行压制时，先通过抽气装置对平面靶材的板坯进行抽气处理，使得平面靶材的板坯在进行压制时先抽取其中夹杂的空气，避免在压制后时压缩的空气在压制完成后膨胀而挤压板坯的粉体，减少靶材开裂的几率。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 压制 装置 方法 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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