[发明专利]一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法在审
| 申请号： | 202110765787.0 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113548228A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王志强;曾墩风;曾探;陶成 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65B23/20 | 分类号： | B65B23/20;B65B35/18;B65B5/04;B65B31/04;B65B61/20;B65B67/04 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241009 安徽省芜湖市中国（安徽）自*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，包括以下步骤，步骤1，使用真空吸盘吸附靶材并放置到气浮台上；步骤2，开启气浮台，使靶材保持上浮状态；步骤3，将靶材依次套入到两个PE袋中并抽真空，进行双重真空包装；步骤4，使用真空吸盘将包装后的靶材吸附转运放置到铝板上，在靶材上侧再覆盖铝板，使用胶带进行捆绑固定；步骤5，将固定好的靶材放置到吊篮中，进行冷等静压制备。通过采用真空吸盘对靶材进行吸附转运，通过气浮台将靶材悬空放置，便于后续对靶材的真空包装，减少了人工搬运靶材，减少了靶材破裂的产生，从而提高了靶材产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 平面 ito 静压 方法 | ||
【主权项】：
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