[发明专利]一种MEMS麦克风及其制备方法在审
| 申请号： | 202110765967.9 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113395646A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王琳琳;钟晓辉;屠兰兰 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/16;H04R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和固定于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括相互间隔设置的背板和振膜，其特征在于，所述振膜包括振动部以及自所述振动部向所述基底延伸并固定于所述基底的固定部，所述固定部沿所述振动部的振动方向贯穿设置有刻蚀辅助孔。本发明提供的MEMS麦克风能够避免在制备过程中导致的振膜过度刻蚀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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