[发明专利]显示方法和基板处理装置在审
| 申请号： | 202110777046.4 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113947517A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 植松治志;今井乡 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G06T1/20 | 分类号： | G06T1/20;G06F11/30;G06F3/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显示方法和基板处理装置。该显示方法用于显示表示与基板处理有关的信息的多个参数，包括以下工序：获取以预先设定的周期进行采样得到的多个所述参数的测定值、以及与所述测定值的采样时间有关的信息；基于与所述测定值的采样时间有关的信息，以进行了采样的顺序在多个所述参数的测定值中提取发生了随时间变化的测定值，或者提取所述发生了随时间变化的测定值和在紧挨该测定值之前进行采样得到的测定值；将提取出的多个所述参数的测定值同与所述测定值的采样时间有关的信息相关联地存储于存储器部；基于存储器部中存储的与所述测定值的采样时间有关的信息，将多个所述参数的测定值绘制成曲线图；以及显示绘制出的所述曲线图。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 方法 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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