[发明专利]一种采用辐照技术制造的抗辐射双极晶体管的生产方法

摘要

本发明提供了一种采用辐照技术制造的抗辐射双极晶体管的生产方法，其方法包括：基于预设光刻工艺对双极晶体管进行处理，并形成欧姆接触区；基于欧姆接触区，通过目标类型的辐射对双极晶体管进行交替辐照，且将完成辐照后的双极晶体管在第一目标温度范围内进行第一退火处理；基于退火结果，对辐照后的双极晶体管平面注入氢离子，并将注入氢离子的双极晶体管在第二目标温度范围内进行第二退火处理；基于封装工艺，将处理完毕的双极晶体管切割成分立器件，且将分立器件安装到管壳中，并焊接引线，完成抗辐射双极晶体管的生产。提高器件的抗辐射性，实现在辐射状态下器件工作的稳定性与可靠性，相比传统工艺提高了生产效率，降低了成本。