[发明专利]一种可灵活调节水平度的MEMS探针卡有效
| 申请号： | 202110785812.1 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113419163B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 孙锐锋;刘志广;刘俊 | 申请（专利权）人： | 深圳市道格特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 彭西洋;彭涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及晶圆探针卡技术领域，公开了一种可灵活调节水平度的MEMS探针卡，通过内水平调节套筒和外水平调节套筒均分别设有多个长度规格，且两相邻的内水平调节套筒和外水平调节套筒的长度规格均相差30微米，将MEMS探针卡组件安装在支架的下端壁上，当MEMS探针卡组件出现不平整时，通过测量MEMS探针卡组件的水平度，然后分别更换不同长度规格的内水平调节套筒和外水平调节套筒，从而实现灵活调节MEMS探针卡组件的水平度，且内水平调节套筒和外水平调节套筒分别通过螺栓和压板固定在支架上，牢固可靠，有效避免探针卡在移动过程中水平度发生改变，有效保证了MEMS探针卡的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵活 调节 水平 mems 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市道格特科技有限公司，未经深圳市道格特科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110785812.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
