[发明专利]金属工件表面光泽度的控制方法及金属薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 202110790618.2 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113529087B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 邬登辉 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/57 | 分类号： | G01N21/57;C23F3/00;G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 韩闪闪 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种金属工件表面光泽度的控制方法以及制备金属薄膜的方法。金属工件表面光泽度的控制方法包括：提供金属工件；检测金属工件的表面光泽度，得到第一检测值；根据第一检测值不同，采用不同工艺对金属工件进行处理，使金属工件的表面光泽度达到生产需求。使用本公开的控制方法，提高金属工件的表面光泽度，从而改善所形成的金属薄膜的电阻率和膜厚均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 工件 表面 光泽 控制 方法 薄膜 制备 | ||
【主权项】：
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