[发明专利]晶圆校准相机及具有其的探针台有效
| 申请号： | 202110793195.X | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113271405B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 赵轶;宋金梁;姚建强;郭剑飞;舒贻胜;陈夏薇;黄长兴;杜振东 | 申请（专利权）人： | 杭州长川科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04N5/225 | 分类号： | H04N5/225;G01R31/28 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 陈霄容 |
| 地址： | 310051 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆测试技术领域，特别是涉及一种晶圆校准相机及具有其的探针台。该晶圆校准相机包括壳体、透镜组件、光源扩散组件以及光源组件；壳体内具有容置槽，壳体上开设有与容置槽连通的透光孔，透镜组件、光源扩散组件及光源组件分别安装于容置槽内，且透镜组件及光源扩散组件设于光源组件的光路上；当光源组件开启时，光源组件发出的光束能够经透镜组件及光源扩散组件传输并从透光孔射出至晶圆，以获取晶圆的图像信息。本发明的优点在于：结构简单、成本低、费时短、精度高、效率高且能够满足晶圆大规模测试要求。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 相机 具有 探针 | ||
【主权项】：
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