[发明专利]一种高效金刚线硅片切割液在审
| 申请号： | 202110800196.2 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113462458A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 郭熹;刘治洲;王波 | 申请（专利权）人： | 江苏捷捷半导体新材料有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N30/04;C10N30/06;C10N30/18;C10N30/16 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 卢海洋 |
| 地址： | 226200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高效金刚线硅片切割液，其特征在于，包括下列质量份数的组分表面活性剂20‑50份、消泡剂0.5‑15份、渗透剂10‑20份、增溶剂10‑30份、余量为去离子水，表面活性剂、渗透剂、消泡剂同为聚醚类。该硅片切割液具有优异的渗透性和润滑性，分散性好，清洗能力强大，同时，该切割液使用添加量较现有产品降低50%，能有效降低使用成本和废水处理难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 金刚 硅片 切割 | ||
【主权项】：
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