[发明专利]缺陷检查装置在审
| 申请号： | 202110802867.9 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN114166946A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 田村裕宣 | 申请（专利权）人： | 铠侠股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/06 | 分类号： | G01N29/06;G01N21/95;G01B17/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 梁皓茹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施方式提供一种能够提高被检查物的缺陷的检查精度的缺陷检查装置。实施方式的缺陷检查装置包括超声波探伤探头、图像获取部、计算部以及校正部。超声波探伤探头向被检查物/模拟被检查物照射超声波，从而获取被检查物/模拟被检查物的超声波图像。图像获取部向模拟被检查物的第一区域或被检查物的第二区域照射红外线，从而获取包含第一区域/第二区域的红外图像。计算部计算用于对超声波图像中及红外图像中的第一区域的坐标相对于第一区域的设计坐标的偏离进行校正的第一校正值，或者，计算用于对红外图像中的第二区域的坐标相对于第二区域的设计坐标的偏离进行校正的第二校正值。校正部对被检查物的超声波图像进行基于所计算出的第一校正值/第二校正值而实施的坐标校正。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 | ||
【主权项】：
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