[发明专利]含有探针卡的测试系统、方法在审
| 申请号： | 202110804740.0 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113589138A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李利民;雷述宇;张冰;刘志翔 | 申请（专利权）人： | 苏州芯迈智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01S7/497 |
| 代理公司： | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人： | 赵晓芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本方案涉及一种含有探针卡的测试系统、方法。所述系统包括：探针卡、光源系统、被测TOF芯片晶圆、中控单元、测试头；探针卡上设置有若干镂空区域；光源系统设置在探针卡上方，包括顶部直流光源、匀光板、半透半反镜、底部脉冲光源；顶部直流光源设置在匀光板顶部；若干层匀光板平行设置在半透半反镜上方，直流光信号垂直照射在被测TOF芯片晶圆表面；底部脉冲光源设置在探针卡一侧的顶部；脉冲光信号倾斜照射在被测TOF芯片晶圆表面；中控单元用于控制测试头工作，得到测试结果。在探针卡上方设置光源系统，无需采购光源，降低了成本；且不需要单独的光源发生设备，降低了测试系统的占地面积。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 探针 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
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