[发明专利]一种MEMS传感器件及其制备方法、传感检测电路在审
| 申请号： | 202110810722.3 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113532701A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 聂泳忠;李舜华;李腾跃;吴桂珊;杨文奇 | 申请（专利权）人： | 西人马联合测控（泉州）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 362012 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS传感器件及其制备方法、传感检测电路，MEMS传感器件包括：衬底层、检测电路层以及分压电阻掺杂层，所述检测电路层包括传感电阻层，分压电阻掺杂层与检测电路层串联连接。所述传感电阻层的电阻温度系数大于所述分压电阻掺杂层的电阻温度系数，进而使得检测电路层的输入电压与温度呈正相关。当温度升高的时候，进而检测电路层的输入电压得以提高，进而检测电路层输入电压产生的提升量补偿检测电路层随着温度升高的压电效应减弱的趋势，最终在高温的时候可以有效地避免所述MEMS传感器件的输出电压降低，在高温的时候有效的避免MEMS传感器件灵敏度的降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 传感 器件 及其 制备 方法 检测 电路 | ||
【主权项】：
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