[发明专利]一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统在审
申请号: | 202110811431.6 | 申请日: | 2021-07-19 |
公开(公告)号: | CN113481606A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 李文英;杨辉;薛武鹏;程涛 | 申请(专利权)人: | 陕西欣宇材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/08;G01B21/14 |
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地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种锗晶体生长设备自动等径检测控制系统,包括底座,底座的上端设置有夹持机构,夹持机构的上端设置有等径机构,夹持机构包括固定块,固定块固定连接在底座的上表面中心处,固定块的表面上通过轴承转动连接有转杆,本发明的有益效果是:将检测环套接在圆杆的表面上,然后缓缓放开检测环使其自动下落,当检测环下落时插块与生长管的内壁接触,当生长管内壁的内径发生变化时,进而会导致生长管内壁对插块的压力发生变化,最终压力反馈到动态压力感应器,进而通过动态压力感应器的读数可得出生长管内径是否等径,通过对生长管的内径进行检测,防止生长管内径存在变化导致对锗晶体的生长造成影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 设备 自动 检测 控制系统 | ||
【主权项】:
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