[发明专利]晶圆循环时间的确定方法和装置有效
| 申请号： | 202110811860.3 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113536572B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 王世生 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06F17/18;G06C3/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 宋兴;刘芳 |
| 地址： | 230011 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种晶圆循环时间的确定方法和装置，获取多个站点的机台的实际生产数据，根据多个站点的机台的实际生产数据，建立随机数表，该随机数表中包括各机台的样本数据，样本数据包括晶圆的处理时间、机台宕机概率、宕机修复时间和随机数区间，使用Monte Carlo算法和随机数表，模拟晶圆在各种机台组合下的生产过程得到模拟器，模拟过程中晶圆经过每个机台时生成的随机数属于随机数表中的随机数区间，随机数用于选择机台的状态，将机台组合、晶圆数量以及模拟次数输入模拟器，得到晶圆的循环时间。该方式能够准确的模拟出晶圆的循环时间，且针对任何机台组合、晶圆数量以及模拟次数均能够得到晶圆的循环时间，应用更加灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 循环 时间 确定 方法 装置 | ||
【主权项】：
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