[发明专利]一种便于清理的半导体镀膜设备

摘要

本发明公开了一种便于清理的半导体镀膜设备，涉及半导体镀膜领域，包括主处理箱，所述主处理箱的底面固定粘接有底垫块，所述主处理箱的一侧边水平开设有抽屉槽，所述抽屉槽的内侧边插接有储料箱体，所述主处理箱的一侧边镶嵌有控制面板，所述主处理箱的两侧边对称螺栓连接有固定侧板，所述固定侧板之间侧边对接有活动外罩，所述主处理箱的顶面水平对接有密封顶板，所述密封顶板的顶面螺栓连接有提拉把手，所述主处理箱的两侧边对称开设有拨动槽，所述拨动槽的内侧边卡接有拨动块。本发明装置设计一体化结构简单操作方便，在采用了翻滚式的镀膜方式使得膜料附着更加的均匀高效，同时卡扣式的连接方式使得便于拆卸下后进行直接性清洗处理。