[发明专利]可自补偿的微镜面驱动器件及其工作电压的补偿方法在审
| 申请号： | 202110818771.1 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113568162A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 张兆林 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种可自补偿的微镜面驱动器件及其工作电压的补偿方法。通过获取微镜面在无工作电压下的偏转方向和偏转角度，并在器件的工作过程中根据微镜面在无工作电压下的偏转状态对其工作电压进行补偿，以校正微镜面在无工作电压下由于其微量扭转产生的误差。即，本发明中的微镜面驱动器件可实现自补偿功能，提高对微镜面的扭转角度的精确控制，有效提升器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 补偿 微镜面 驱动 器件 及其 工作 电压 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，未经绍兴中芯集成电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110818771.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
