[发明专利]一种具有双泵结构的真空蒸镀机在审
| 申请号： | 202110820869.0 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113355640A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 曹恒涛 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种具有双泵结构的真空蒸镀机，所述真空蒸镀机的主腔体与主阀连接，抽真空泵启动主腔体内的空气通过排气通口进入主阀，坩埚部内的蒸镀材料在镀膜时以散射角a并呈圆锥体形状向上蒸发，将镀锅上固定的被镀膜工件镀膜，所述抽真空泵有两个，以坩埚部内的蒸镀材料上表面的中心点为圆心、角度为散射角a形成圆弧，并且将与镀锅的上表面的中心点重合的圆弧记为圆弧M，坩埚部内的蒸镀材料上表面的中心点与镀锅的上表面的中心点之间的连线为ES，其距离为ES距离，以镀锅的上表面的中心点作垂直线L，该垂直线L与ES之间的夹角为入射角b,入射角b大于等于0°并且小于等于35°。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 结构 真空 蒸镀机 | ||
【主权项】：
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