[发明专利]基座及基质加工设备在审
| 申请号： | 202110823500.5 | 申请日： | 2016-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN113555270A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 森幸博;梅尔文·韦尔巴斯 | 申请（专利权）人： | ASMIP控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/46;C23C16/455;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 林聪源 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 基座包括板状部件、用于加热所述板状部件的第一部的第一加热器、用于加热所述板状部件的第二部的第二加热器以及用于使所述第一部和所述第二部在所述板状部件的上表面侧彼此绝热的绝热部。 | ||
| 搜索关键词： | 基座 基质 加工 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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