[发明专利]一种检测方法和装置在审
| 申请号： | 202110825374.7 | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN113643995A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 张和;艾义明;於成星;颜元;顾鹏 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高洁;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种检测方法和装置，其中，所述方法包括：将测试晶圆放置到离子注入机台中，对所述测试晶圆进行离子注入；在所述离子注入后，获取所述测试晶圆的彩色图像；根据所述测试晶圆的彩色图像，判断所述测试晶圆的离子注入情况。本申请提供的一种检测方法通过获取测试晶圆的彩色图像，并基于彩色图像反映出的颜色特征，能够准确地判断出测试晶圆的离子注入情况是否正常，操作简单，提高了检测效率，并且可以做到及时预警，避免由于检测不及时，造成测试晶圆的永久损坏，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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