[发明专利]一种三氯化硼提纯装置

摘要

本发明公开了一种三氯化硼提纯装置，涉及三氯化硼技术领域。本发明包括原料汇流排、三氯化硼吸附系统、过滤器、精馏塔、液化器、成品储存机构、回收储存机构、回收充装机构、成品充装机构、去尾气系统、热氮气接入口和不凝汽排放机构。本发明通过各个配件的配合，能够较好的对三氯化硼进行提纯，得到高纯度的三氯化硼，且能够自动对不合格的三氯化硼进行回收，降低了生产成本，提纯过程一次成型，保证了提纯工艺的连续性，并避免三氯化硼受到外部杂质的影响，保证了三氯化硼的纯度，且易于操作、效率较高、适合大批量推广。