[发明专利]一种射频声表面波滤波器在审
| 申请号： | 202110828925.5 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113595525A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 陈婷婷;杜雪松;谢晓;谢东峰;彭霄;罗璇升;彭雄;张华;明礼;刘春雪 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/08;H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 卢胜斌 |
| 地址： | 400060*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明专利涉及声表面波滤波器，具体涉及本发明提出一种射频声表面波滤波器，包括压电基片以及压电基片上方的结构单元，结构单元为梳状设置的金属指条，每根金属指条的四个端角进行加宽处理，形成活塞式加权，加权的尺寸为：x轴方向的长度为金属指条宽度/20～金属指条宽度/2、y轴方向的长度为金属指条宽度/10～金属指条宽度；本发明对金属指条进行加权设计，提高剥离精确度，使金属指条表面光滑平整，减小表面波能量损耗，使得在中心频率大于2GHz的声表面波滤波器的顶部插损能够减小到1.0以内；该结构也可以补偿曝光显影设备在制作金属指条的失真现象，利用现有设备高精度制作更细的金属指条，实现超高中心频率滤波器的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 表面波 滤波器 | ||
【主权项】：
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