[发明专利]一种集成双向驱动的微动台及运动装置有效
| 申请号： | 202110829557.6 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113446486B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 袁嘉欣;江旭初;彭仁强 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/06 | 分类号： | F16M11/06;F16M11/24;G01B5/06;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈宏 |
| 地址： | 200135 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于集成电路制备技术领域，具体公开了一种集成双向驱动的微动台及运动装置。微动台包括：安装基座；垂向底座，可沿Z向移动地设置于安装基座上，且在Rz向上的位置相对安装基座不变；旋转座，可在Rz方向转动地套设于垂向底座，且在Z向上的位置相对垂向底座不变；双向驱动装置，包括同轴且沿Z向并排设置的垂向电机组件和旋转电机组件，垂向电机组件与旋转电机组件均与旋转座同轴套设，垂向电机组件用于驱动旋转座和垂向底座沿Z向相对安装基座移动，旋转电机组件用于驱动旋转座绕Z向相对安装基座和垂向底座转动。运动装置包括上述的微动台。本发明公开的微动台和运动装置，有利于实现微动台及运动装置的轻量化和扁平化设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 双向 驱动 微动 运动 装置 | ||
【主权项】：
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