[发明专利]蒸镀装置及蒸发源在审
| 申请号： | 202110833794.X | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113463032A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 田村博之 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过使蒸发口部彼此的距离尽可能地分离而能够抑制蒸发口部间的相互影响并防止膜厚分布产生误差的蒸镀装置及蒸发源。蒸镀装置具备蒸发源和相对移动机构，该蒸发源具有收容成膜材料的容器(1)和设于容器(1)的蒸发口部(2)，该相对移动机构使蒸发源和基板沿着与蒸发源的长边方向正交的方向相对移动，其中，在蒸发源中，蒸发口部(2)沿着容器(1)的长边方向设置多列，一对蒸发口部(2)分别具有以朝向容器(1)的长边方向外侧的方式倾斜的开口端面，蒸发口部(2)被分别排列成，在通过蒸发口部(2)的开口中心且沿着基板的相对移动方向的线上，其他的蒸发口部(2)的开口中心不重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 蒸发 | ||
【主权项】：
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