[发明专利]一种包含排水功能的晶圆搬运装置在审
| 申请号： | 202110836151.0 | 申请日： | 2021-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN113580103A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 曲泉铀;古市昌稔;刘洋;武一鸣;胡启凡;王晨旭;张平 | 申请（专利权）人： | 上海广川科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J11/00;B25J19/00;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 马盼;吴世华 |
| 地址： | 200444 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种包含排水功能的晶圆搬运装置，包括排水单元，所述排水单元包括滴水排出子单元，所述滴水排出子单元包括上接水盘和下接水盘，所述上接水盘固定在θ轴上，所述下接水盘固定在Z轴本体上，且所述上接水盘和θ轴能够相对于Z轴本体进行旋转升降运动；所述上接水盘包括第一排水孔，所述下接水盘包括第一排水口，所述第一排水孔通过第一排水管连接至下接水盘；晶圆上的水掉落在上接水盘中，并通过第一排水孔和第一排水管进入下接水盘中，并通过第一排水口排出晶圆搬运装置。该装置能够确保晶圆上的水通过特定排水结构排出，进而确保晶圆搬运装置的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 包含 排水 功能 搬运 装置 | ||
【主权项】：
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