[发明专利]一种化学蚀刻减薄FeNi合金箔带的方法有效

专利信息
申请号: 202110847470.1 申请日: 2021-07-26
公开(公告)号: CN113388836B 公开(公告)日: 2023-05-16
发明(设计)人: 张青科;宋振纶;杨丽景;胡方勤;姜建军;郑必长 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: C23F1/28 分类号: C23F1/28;C23G1/19
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王锋
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种化学蚀刻减薄FeNi合金箔带的方法,包括:对FeNi合金薄板进行预处理,之后以蚀刻液均匀喷淋所述FeNi合金薄板,以将所述FeNi合金薄板蚀刻减薄形成FeNi合金箔带,其后对所述FeNi合金箔带进行后处理;其中,所述蚀刻液包括FeCl3、HCl和水。本发明工艺简单易操作,不仅可以进一步快速、均匀地降低FeNi合金薄板的厚度,还可以去除其表面的轧制硬化层,降低其内部塑性应变和残余应力,从而抑制蚀刻减材时的变形,有效改善FeNi合金箔带的柔性,显著提升掩膜版制造的成品率,且无需进行后期处理。本发明的方法适用于各种成分、尺寸与厚度的FeNi合金薄板,所获FeNi合金箔带厚度均匀、表面粗糙度低。
搜索关键词: 一种 化学 蚀刻 feni 金箔 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所,未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110847470.1/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top