[发明专利]一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置在审
| 申请号： | 202110847596.9 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN115684756A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 蔡森;陈文斌;刘稚萍 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01N15/06 |
| 代理公司： | 北京融智邦达知识产权代理事务所(普通合伙) 11885 | 代理人： | 吴强 |
| 地址： | 100176 北京市通州区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种准分子激光器金属氟化物捕获器净化效果检验装置，其包括金属氟化物捕获器和尘埃粒子计数器；所述金属氟化物捕获器上设置有进气口和排气口；进气口通过进气管路与气源连接，用于向所述金属氟化物捕获器内输入测试气体；所述尘埃粒子计数器通过排气管路与所述金属氟化物捕获器的排气口连接，用于检测自金属氟化物捕获器内排出气体的颗粒物含量。本发明利用尘埃粒子计数器精确检测到电场捕获颗粒物的洁尘效果，以及结合气体流量调节和电场强度调节，可获得最佳的准分子激光器金属氟化物捕获器的最佳工作参数，提高了准分子激光器金属氟化物捕获器的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 金属 氟化物 捕获 净化 效果 检验 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京科益虹源光电技术有限公司，未经北京科益虹源光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110847596.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
