[发明专利]一种点胶质量检测装置、检测方法、电子设备和存储介质在审
| 申请号： | 202110853654.9 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN113567437A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 金亚;徐长达;陈少康;齐艺超;陈伟;李明;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种点胶质量检测装置，该装置包括：检测平台；载物台，可旋转安装于检测平台上；基座，放置在载物台上，设有预设位置用于点胶；固定模块，安装于载物台上，用于固定基座；透镜，放置在基座的预设位置；激光器，固定在透镜上，与基座位于透镜的相对面，激光器用于发出激光；滑动导轨，安装在检测平台上，垂直于载物台和检测平台的接触面；探测模块，安装于滑动导轨上，探测模块的移动方向垂直于载物台和基座的接触面，用于接收激光器发出的激光。本公开通过计算点胶前后激光器照射在探测模块上的光强分布图的中心的偏移来判断点胶的质量，进而根据点胶质量调整出胶量，装置结构简单，检测方便，可以提高检测效率以及点胶质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 胶质 检测 装置 方法 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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