[发明专利]一种抛光垫修整装置及抛光设备在审
| 申请号： | 202110858363.9 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN113458972A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 刘福强;李伟;史霄;杨宽;舒福璋 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种抛光垫修整装置及抛光设备，属于抛光垫修整技术领域，抛光垫修整装置包括：支座；摆臂，一端与支座转动连接；修整组件，设置在摆臂的远离所述支座的一端；所述修整组件具有修整头；所述修整头通过支撑座设置所述摆臂的一侧；所述修整头相对于所述摆臂做上下移动运动和旋转运动；厚度检测组件，设置在修整组件上；所述厚度检测组件具有接触式测距传感器；本发明的抛光垫修整装置，当修整头在下降的过程中，带动接触式测距传感器进行移动，通过接触式测距传感器感知到达固定位置的距离，进而推测出抛光垫的厚度，进而知道抛光垫的真实磨损情况，确定抛光垫的更换时间，保证抛光垫的使用寿命最长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 修整 装置 设备 | ||
【主权项】：
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