[发明专利]测漏推车及测漏方法在审
| 申请号： | 202110864554.6 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115683458A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 李思远 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高天华;张颖玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种测漏推车及测漏方法，其中，测漏推车至少包括：车体和设置于所述车体上的固定夹；所述车体用于放置待测漏组件；所述固定夹用于固定所述车体与所述待测漏组件；所述车体具有一测漏孔，所述测漏孔位于所述待测漏组件在所述车体上的投影区域内，所述测漏孔用于实现对所述待测漏组件进行测漏。通过本申请实施例提供的测漏推车能够在机台外部实现对待测漏组件进行测漏，节约了时间成本和人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 推车 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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