[发明专利]多工位除气炉的抽真空系统在审
| 申请号： | 202110866687.7 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113606949A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 邱添;李成龙 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/06 | 分类号： | F27D7/06;F27B11/00 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 张岭;赵保迪 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种多工位除气炉的抽真空系统，包括同时与每个石英钟罩连接的主抽真空系统以及同时与每个石英钟罩连接的辅抽真空系统，主抽真空系统包括主真空泵、位于主真空泵进气口和每个石英钟罩之间的主连接管道以及安装在每条主连接管道上用于控制主连接管道通断的主开关阀，每条主连接管道上均连接有与外界大气连通的进气管道，每条进气管道上均安装有控制进气管道通断的第一开关阀；辅抽真空系统包括辅真空泵、连接在辅真空泵进气口和每个石英钟罩之间的辅连接管道，每条辅连接管道上均安装有控制辅连接管道通断的辅开关阀。本申请能够实现在处理工件的过程中可以随时对任一石英钟罩内的工件进行更换，增加处理时的灵活性，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 多工位 真空 系统 | ||
【主权项】：
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