[发明专利]一种光学转移装置及多层微纳器件加工方法

摘要

本发明涉及微纳加工技术领域，公开了一种光学转移装置及多层微纳器件加工方法，光学转移装置包括第一调节机构、第二调节机构和显微成像系统。第一调节机构中，第一位移平台能够对第一载物台进行可控、可量化的移动。第二调节机构中，第二位移平台能够对第二载物台进行可控、可量化的移动。因此，在第一调节机构和第二调节机构的作用下，第一样品和第二样品能够相互对齐，并且，在驱使第一载物台和第二载物台移动的过程中，通过显微成像系统实时显示第一样品的形貌，从而可视化地实现微区贴装，克服了当前转移装置参数无法量化和精细控制的缺点，减少人为因素的影响，从而提高效率和质量。