[发明专利]工作平台的上下料方法在审
| 申请号： | 202110872266.5 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113534621A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 叶栋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种用于光刻设备的工作平台的上下料方法，包括：S1、启动支撑组件；S2、使用托举件将工件移动至平台的工作面上，支撑组件支撑工件；S3、将托举件脱离工件；S4、泵体向若干气孔吹气，使得设置在气孔内的浮动组件在气孔内移动并至少部分突伸出工作面；S5、关闭支撑组件使得支撑组件的上端面平行或低于工作面，浮动组件支撑工件；S6、移动工件至目标位置，并将工件固定在工作面上；S7、工件加工完成后，启动支撑组件，支撑组件至少部分突伸出工作面，以支撑工件；S8、将托举件插入到工件和工作面之间的间隙，以托举工件并将工件移离工作平台。该方法操作简单、省力，且可轻松实现大体积或较重工件的上下料，提高了工作平台的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 工作 平台 上下 方法 | ||
【主权项】：
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