[发明专利]一种研磨组合物及其应用在审
| 申请号： | 202110890010.7 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN113480974A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;孙慧芳;吴东青 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种研磨组合物及其应用，所述研磨组合物包括复合磨粒和研磨液；所述复合磨粒包括氧化物研磨料、碳化物磨粒和金刚石磨粒；所述氧化物磨粒的粒度为3‑5μm；所述碳化物磨粒的粒度为8‑12μm；所述金刚石磨粒的粒度为0.1‑1μm。所述应用包括对钼蒸发料进行研磨处理，包括如下过程：将钼蒸发料采用所述复合研磨组合物进行第一研磨和第二研磨。通过对研磨中研磨介质即研磨组合物的设计，实现了钼蒸发料表面污物和缺陷的高效去除，同时显著降低了钼蒸发料的损失率，较现有技术中的钼蒸发料损失率(40‑20％)显著降低，本发明中钼蒸发料处理后的损失率为0.05‑0.1％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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