[发明专利]一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法有效
| 申请号： | 202110890081.7 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN113461884B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 王富成;苏志强;赵鑫;马铮 | 申请（专利权）人： | 浙江自立高分子化工材料有限公司 |
| 主分类号： | C08G8/24 | 分类号： | C08G8/24;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京中知星原知识产权代理事务所(普通合伙) 11868 | 代理人： | 王维佳;艾变开 |
| 地址： | 312300 浙江省绍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻胶用改性酚醛树脂，其特征在于，是以包括以下原料缩聚制备得到：间甲酚，对甲酚，二甲酚，4,4’‑二羟基二苯醚，2‑羟基1‑羟甲基萘，酚性多羟基化合物，甲醛。本发明以4,4’‑二羟基二苯醚和2‑羟基1‑羟甲基萘替代部分甲酚，在反应的后期加入少量的酚性多羟基化合物，按照特定的制备工艺，能够同时改善酚醛树脂的耐热性和分辨率。最终得到了综合性能优异的酚醛树脂，经过测试，其软化温度在140℃左右，重均分子量在8000‑15000，Mw/Mn在2‑3范围，分子量分布较窄，作为I线光刻胶的成膜树脂，光刻胶分辨率可以达到0.45μm以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 改性 酚醛树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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